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Navigator II - RF Match Netzwerke
Schnelles, genaues und zuverlässiges digitales Matching
Die fortschrittliche digitale Technologie des Navigator ll-Anpassungsnetzwerks beschleunigt die Abstimmung und die Reaktionszeit bei der Anpassung.
- Führende RF-Plasmamethodik und -kontrolle
- Erweiterte Pulssteuerung mit Tune-while-Pulsing-Funktion
- Noch nie dagewesene Einblicke in Plasma mit dem integrierten Z'Scan II
• Digitale Architektur mit modellbasierten Schnellabstimmungsalgorithmen
• Gepulste RF-Leistungsabgabe
• Wobbelfrequenzbetrieb
• Störfestigkeit gegen Intermodulationsverzerrungen (IMD) für Mehrfrequenzanwendungen
• Prozessleistung und Impedanzmessung in Echtzeit
• Digitale Architektur mit modellbasierten Schnellabstimmungsalgorithmen
• Gepulste RF-Leistungsabgabe
• Wobbelfrequenzbetrieb
• Störfestigkeit gegen Intermodulationsverzerrungen (IMD) für Mehrfrequenzanwendungen
• Prozessleistung und Impedanzmessung in Echtzeit
• Digitale Architektur mit modellbasierten Schnellabstimmungsalgorithmen
• Gepulste RF-Leistungsabgabe
• Wobbelfrequenzbetrieb
• Störfestigkeit gegen Intermodulationsverzerrungen (IMD) für Mehrfrequenzanwendungen
• Prozessleistung und Impedanzmessung in Echtzeit
• Digitale Architektur mit modellbasierten Schnellabstimmungsalgorithmen
• Gepulste RF-Leistungsabgabe
• Wobbelfrequenzbetrieb
• Störfestigkeit gegen Intermodulationsverzerrungen (IMD) für Mehrfrequenzanwendungen
• Prozessleistung und Impedanzmessung in Echtzeit
Der Navigator® ll ist mit mikroprozessorgesteuerten Schrittmotorantrieben und fortschrittlichen Abstimmungsalgorithmen ausgestattet, die eine optimierte HF-Leistung ermöglichen. Ein optionaler interner Z'Scan® II-HF-Sensor bietet eine Echtzeitanalyse der Prozessleistung und -impedanz, mit der Sie Prozessschwankungen schnell erkennen und deutlich reduzieren können. Für die Überwachung und Steuerung über den Computer des Anwenders ist optional eine Virtual Front Panel Software erhältlich.
Vorteile
- Schnelles Abstimmen und Verbessern der Spielreaktionszeit
- Verschärfte Prozesskontrolle
- Erhöhung des Werkzeugdurchsatzes und der Produktausbeute
- Verbesserung der Zuverlässigkeit und der Betriebskosten
- Anpassung an eine Vielzahl von Kammern und Prozessen
Leistung
1 bis 30 kW
Frequenz
400 kHz bis 60 MHz
Andere
Einzel- und Mehrfrequenzfähig, ICP- und CCP-fähig