Startseite / Produkte / Hochfrequenz / Plasmastromgeneratoren / RF Match Netzwerk / Navio
Navio - RF Match Netzwerke
Wirtschaftliche, digitale, konfigurierbare Matching-Netzwerklösung
Das Navio-Anpassungsnetzwerk bietet eine schnelle, genaue und wiederholbare Impedanz für viele Anwendungen.
- Plug-and-Play-Installation mit den RF-Netzteilen von Advanced Energy für Dünnschichtanwendungen
- Effiziente und stabile Leistungsabgabe
- Kompakt und luftgekühlt (Standardgehäuse oder schlanke Version)
- Schnelle, genaue und wiederholbare Impedanzanpassung
- Optimierte Standardfunktionen für viele Anwendungen
- Umfangreiches Menü mit Konfigurationsoptionen für anspruchsvollere Prozesse
- Große Leistungs- und Frequenzbereiche
- Kompakte luftgekühlte Einheit, erhältlich als Standard- oder Slim-Version
Erleben Sie Einfachheit und hohe Zuverlässigkeit in einem einzigen, erschwinglichen Paket. Das Navio™-Anpassungsnetzwerk nutzt unser Leistungs-Know-how zur präzisen Anpassung komplexer Plasmaimpedanzen an Ihren Abstimmbereich. Es ist schnell, genau und wiederholbar. Erhältlich in mehreren Leistungsbereichen und Frequenzen, wählen Sie aus einem Standardangebot oder einem konfigurierbaren Design. Die Installation ist praktisch Plug-and-Play mit den HF-Stromversorgungen von Advanced Energy. Für die Überwachung ist die Virtual Front Panel Software erhältlich.
Vorteile
- Verbesserung des Durchsatzes, Steigerung der Ausbeute und Senkung der Produktionskosten
- Wählen Sie ein Standardmodell oder konfigurieren Sie ein Gerät, das Ihre Systemanforderungen erfüllt
- Einfache Installation und Bedienung
- Hervorragende Wiederholbarkeit für hohe Prozessausbeute
Leistungsbereich 1,3 und 5 kW Frequenzen 13 bis 60 MHz Eingangsleistung 24 VDC oder 110 VAC |
|