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Paramount - RF-Plasmageneratoren
Branchenführende, reproduzierbare Stromversorgung für Kernplasmaanwendungen
Paramount-HF-Leistungsgeneratoren kombinieren Frequenzabstimmung, Impulsbetrieb und vollständige digitale Steuerung.
- Volldigitale Steuerung für dynamische Reaktion auf Plasmaveränderungen
- Anpassbare Frequenz von 400 kHz bis 60 MHz und Leistung von 100 W bis 8 kW
- Erweiterte Funktionen zur Optimierung und Synchronisierung der Steuerung
Ausstattung
• Vollständig digitale Steuerung, Lichtbogenmanagement
• Frequenzabstimmung, Taktung und Impulssynchronisation
• Leistungs- und Impedanzmessung in Echtzeit
• Phasensynchronisierung (CEX)
Ausstattung
• Vollständig digitale Steuerung, Lichtbogenmanagement
• Frequenzabstimmung, Taktung und Impulssynchronisation
• Leistungs- und Impedanzmessung in Echtzeit
• Phasensynchronisierung (CEX)
• Hohe Leistungsdichte in einem schlanken Design
• On-Board-Kammermontage, Montage auf dem Werkzeugrahmen, Rackmontage und Schuhkartonoptionen
• Breitbandige Regelkreise, optionale Impulssteuerung
• Hochgeschwindigkeits-Lichtbogenmanagement
Bringen Sie Ihre Prozessentwicklung mit einem neuen Fokus auf Betriebsflexibilität voran. Paramount® HF-Generatoren bieten breite Frequenz- und Leistungsbereiche, unterstützen mehrere Integrationsszenarien und sind mit seriellen oder analogen Standardschnittstellen ausgestattet.
Die digitale Architektur der Paramount-Plattform bietet ein präzises Leistungsmanagement und vereinfacht die Integration neuer Funktionen - ohne Vorlaufzeiten oder Hardwareänderungen. Die Echtzeit-Erkennung von Plasmaveränderungen sorgt für eine hohe Leistungsabgabe und wiederholbare Leistung. Interne Schutzgrenzen erleichtern den zuverlässigen Betrieb.
Vorteile
- Verbesserung der Plasmastabilität und Prozesswiederholbarkeit
- Präzise Steuerung der RF-Leistung
- Schnelles Reagieren auf Veränderungen des Plasmas
- Leichte Anpassung an spezifische Anwendungsanforderungen
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