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Apex - RF-Plasmageneratoren
Hohe Leistungsdichte für kompakte Installation
Wenn nur wenig Platz zur Verfügung steht, die Leistung aber entscheidend ist, bieten die schlanken APEX HF-Generatoren verschiedene Montageoptionen und eine Leistung, auf die Sie sich verlassen können.
- Optionen für Kammer-, Gestell- oder Rahmenmontage für mehr Komfort und geringere Leistungsverluste
- Hervorragende Leistung durch Lichtbogenmanagement
- Optionen für 1,5 bis 10 kW Ausgangsleistung bei 13,56 MHz Frequenz
• Hohe Leistungsdichte in einem schlanken Design
• On-Board-Kammermontage, Montage auf dem Werkzeugrahmen, Rackmontage und Schuhkartonoptionen
• Breitbandige Regelkreise, optionale Impulssteuerung
• Hochgeschwindigkeits-Lichtbogenmanagement
• Hohe Leistungsdichte in einem schlanken Design
• On-Board-Kammermontage, Montage auf dem Werkzeugrahmen, Rackmontage und Schuhkartonoptionen
• Breitbandige Regelkreise, optionale Impulssteuerung
• Hochgeschwindigkeits-Lichtbogenmanagement
• Hohe Leistungsdichte in einem schlanken Design
• On-Board-Kammermontage, Montage auf dem Werkzeugrahmen, Rackmontage und Schuhkartonoptionen
• Breitbandige Regelkreise, optionale Impulssteuerung
• Hochgeschwindigkeits-Lichtbogenmanagement
Der vielseitige Apex® Familie von HF-Generatoren und Stromversorgungssystemen zeichnet sich durch ein kompaktes, modulares Design aus, das sich für die Kammermontage eignet. Die Apex-RF-Generatoren und -Stromversorgungssysteme nutzen eine hochentwickelte RF-Konversionstechnologie und bieten eine verbesserte Produkt- und Prozesszuverlässigkeit. Die hohe Leistungsdichte macht sie ideal für fortschrittliche Plasmaprozesse. Verschiedene Kommunikationsmodelle und konfigurierbare Funktionen ermöglichen es Ihnen, Ihre Plattform individuell zu gestalten und Integrationsansätze zu erkunden. Es sind keine Vorlaufzeiten für kundenspezifische Generatoren erforderlich.
Vorteile
- Einfache Integration von Prozess-Tools mit erhöhter Flexibilität
- Stabilisierung des Plasmabetriebs
- Verbesserter Ertrag für schnelles Lichtbogenmanagement
- Einfaches Anpassen und Konfigurieren für Ihre Prozessanforderungen
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Apex Generator Datenblatt