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HiLight - RF-Plasma-Generatoren
Eine kompakte, kostengünstige, einfach zu installierende RF-Plattform mit geringer Leistung
Die kompakten, leichten und luftgekühlten HiLight™-HF-Generatoren sind ideal für On-Board-Anwendungen mit geringem Stromverbrauch und eignen sich für 13,56-MHz-Plasma und 1- oder 2-MHz-Prozesse.
- Economical
- Flexibler, einphasiger Eingang
- Kompakte Bauweise
Ausstattung
- Kompaktes, leichtes Schuhkarton-Design
- Luftkühlung, Analoger Benutzeranschluss
- Wellen- und Impulsmodus
- Phasensynchronisation (CEX) und Taktung
Die HiLight™-Generatoren sind für die Verwendung mit 230 VAC, einphasiger Eingangsleistung ausgelegt und liefern bis zu 600 W an eine 50 Ω, nicht reaktive Last. HiLight-HF-Generatoren bieten eine genaue Leistungsregelung und verfügen über interne Schutzgrenzen, die einen sicheren und zuverlässigen Betrieb ermöglichen. Die HF-Generatoren sind kompakt und leicht, so dass sie direkt am Werkzeug oder in der Kammer montiert werden können. HiLight-Generatoren werden über einen 25-poligen analogen Benutzeranschluss gesteuert.
Vorteile
- Einfacher Einbau in nicht-19″-Rackhalterungen
- Erhöhte Genauigkeit und Zuverlässigkeit mit Wellen- oder Impulsmodus
| Leistung 200, 300 und 600 W Frequenzen 200W: 0,925 MHz 0,902 MHz bis 0,948 MHz VCO-Bereich für optimale Last-Autotuning 300W, 600W: 13,56 MHz Verfügbare Schnittstellen 25-poliger Benutzeranschluss |
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