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LFGS - RF-Plasmageneratoren
Wirtschaftlicher Mittelfrequenzgenerator für die Plasmabearbeitung
- Breiter Ausgangsfrequenzbereich
- Kompakte Bauweise
- Flexibles Kommunikationsprotokoll
Der vielseitige LFGS-Generator mit variabler Frequenz (1250 W, 40 bis 500 kHz) eignet sich für eine Vielzahl von Halbleiter- und allgemeinen Plasmabearbeitungsanwendungen, darunter Sputtern, reaktives Ionenätzen, Plasmaabscheidung, Polymerisation und Oberflächenbehandlung. Sein kompaktes, luftgekühltes 19″-Gehäuse für die Rackmontage erleichtert die Installation und spart wertvollen Platz. Mit einem Halbbrücken-Verstärkerdesign der Klasse D ermöglicht das LFGS-Netzteil die niedrigste auf dem Markt erhältliche Reflexionsleistung.
Vorteile
- Unterstützung einer breiten Palette von Anwendungen
- Zugriff auf die niedrigste auf dem Markt erhältliche Reflexionsleistung
- Leicht zu installieren
- Effiziente Nutzung von wertvollem Raum
Ausstattung
- Variable Frequenz
- Luftkühlung
- Erweitertes Bedienmenü , Aktives Frontpanel
- Impulsmodus (0 bis 10 kHz) CEX-Betriebsmodus 2 analoge Benutzeranschlüsse
- RS-232-, Ethernet- und Profibus-Kommunikation