LFGS - RF Plasma Generators Suppliers in Germany - HV Products

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LFGS - RF-Plasmageneratoren

Wirtschaftlicher Mittelfrequenzgenerator für die Plasmabearbeitung

  • Breiter Ausgangsfrequenzbereich
  • Kompakte Bauweise
  • Flexibles Kommunikationsprotokoll

Der vielseitige LFGS-Generator mit variabler Frequenz (1250 W, 40 bis 500 kHz) eignet sich für eine Vielzahl von Halbleiter- und allgemeinen Plasmabearbeitungsanwendungen, darunter Sputtern, reaktives Ionenätzen, Plasmaabscheidung, Polymerisation und Oberflächenbehandlung. Sein kompaktes, luftgekühltes 19″-Gehäuse für die Rackmontage erleichtert die Installation und spart wertvollen Platz. Mit einem Halbbrücken-Verstärkerdesign der Klasse D ermöglicht das LFGS-Netzteil die niedrigste auf dem Markt erhältliche Reflexionsleistung.

Vorteile

  • Unterstützung einer breiten Palette von Anwendungen
  • Zugriff auf die niedrigste auf dem Markt erhältliche Reflexionsleistung
  • Leicht zu installieren
  • Effiziente Nutzung von wertvollem Raum

Ausstattung

  • Variable Frequenz
  • Luftkühlung
  • Erweitertes Bedienmenü , Aktives Frontpanel
  • Impulsmodus (0 bis 10 kHz) CEX-Betriebsmodus 2 analoge Benutzeranschlüsse
  • RS-232-, Ethernet- und Profibus-Kommunikation