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Paramount Plus - RF-Plasmageneratoren
Mehrstufiges Pulsieren und Steuerung der Pulswellenform für neuartige Plasmaanwendungen
Paramount Plus bietet fortschrittliche Technologie und anpassbare Funktionen, darunter eine erstklassige Pulssteuerung.
- Präzise RF- und Impulssteuerung
- Schnelle Reaktion auf Veränderungen im Plasma
- Eingebaute Diagnosetools
• Verbesserte RF-Stabilität, streng regulierte Ausgangsleistung
• Erweitertes Multi-Level-Pulsing
• Impulssynchronisation und -überwachung
• Leistungs- und Impedanzmessung in Echtzeit
• Fortschrittliches FastDAQ-Datenerfassungssystem
• Verbesserte RF-Stabilität, streng regulierte Ausgangsleistung
• Erweitertes Multi-Level-Pulsing
• Impulssynchronisation und -überwachung
• Leistungs- und Impedanzmessung in Echtzeit
• Fortschrittliches FastDAQ-Datenerfassungssystem
• Verbesserte RF-Stabilität, streng regulierte Ausgangsleistung
• Erweitertes Multi-Level-Pulsing
• Impulssynchronisation und -überwachung
• Leistungs- und Impedanzmessung in Echtzeit
• Fortschrittliches FastDAQ-Datenerfassungssystem
Das Paramount Plus bietet die umfangreichsten Funktionen, die in einem gepulsten HF-Produkt verfügbar sind. Das Paramount Plus bietet präzise HF-Regelung, hochentwickelte Impulsmanipulation und fortschrittliche Datenerfassung. Der Paramount Plus ist für einen großen Bereich von HF-Energie ausgelegt - Frequenzen von 400 kHz bis 60 MHz und Leistungen von 1,5 bis 15 kW - und bietet die Wiederholbarkeit und Zuverlässigkeit, die Sie benötigen.
Vorteile
- Präzise Steuerung von RF
- Verbessern der Plasmastabilität
- Beschleunigung der Plasmaübergänge
- Prozesszeiten verkürzen
- Verbesserung der Prozesswiederholbarkeit und Kammeranpassung
Leistungsstufe Paramount Plus MF: 5 und 15 kW Paramount Plus VHF: 3 und 6 kW Frequenzen Paramount Plus MF: 2 MHz, Frequenzabstimmung ± 10% Paramount Plus VHF: 27, 40 und 60 MHz, Frequenzabstimmung ± 5% Verfügbare Schnittstellen RS-232, 25-polig analog, Ethernet, DeviceNet, Profibus, EtherCAT AC-Eingang Paramount Plus MF: 200/240 VAC, 400/480 VAC Paramount Plus VHF: 200/240 VAC, 400/480 VAC |
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